微波等离子体化学气相沉积系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Woosin Cryo Vac Ltd. -
当前状态
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管理员
欧阳红群,王成新,丛杨 18998492593 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
微波等离子体化学气相沉积系统
资产编号
20126967
型号
Woosin Cryo Vac Ltd.
规格
Woosin Cryo Vac Ltd.
产地
韩国
厂家
Woosin Cryo Vac Ltd.
所属品牌
MPECVD-R2.0
出产日期
购买日期
2012-04-23
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
王成新 杨功政 崔浩
联系电话
18998492593
联系邮箱
yanggzh5@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
功率发生器2kW，2.45GHz；质量流量计10,30,50sccm；系统真空度优于1.0×10-6Torr；保压12小时后真空度优于1.0×10-1Pa
主要功能及特色
最大沉底加热温度900℃负偏压电源电压1000V电流1000mA
样本检测注意事项
无
设备使用相关说明
暂无
备注
无
预约资源
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