原子层沉积系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Picosun Oy -
当前状态
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管理员
陈栩江,刘扬 020-39943195 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
原子层沉积系统
资产编号
20131941
型号
Picosun Oy
规格
4进口,6英寸最大样品基底
产地
芬兰
厂家
Picosun Oy
所属品牌
Picosun SUNALE R-150
出产日期
购买日期
2013-03-28
所属单位
电子与信息工程学院（微电子学院）
使用性质
科研
所属分类
XSB24,GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB
资产负责人
刘扬
联系电话
020-39943195
联系邮箱
yjingj@mail3.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
六路前驱体源，4进口，6英寸最大样品基底,氧化铝薄膜厚度的均匀性优于1%,反应腔最高加热温:500℃,反应腔内实际压力约为4～5Pa。
主要功能及特色
沉积
样本检测注意事项
二氧化硅、氮化硅、氧化铝原子层沉积
设备使用相关说明
1000元/小时
备注
1.本实验室公用仪器设备的使用，均需预先申请、登记，并实行收费制。2.申请者须按约定时间前来实验室做实验，确实不能按时前来者，须提前与管理人员联系更改实验时间。4.进入实验室工作，应遵守实验室各项规章制度和安全措施，尊重技术人 员的工作，服从技术人员的安排。对仪器性能和操作规程不熟悉者，必须在技术人员的指导下进行实验，不得擅自操作仪器设备。
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