台阶仪（探针式轮廓仪）
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
Bruker Nano Inc -
当前状态
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管理员
陈栩江,Kai Wang 18927527035 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
台阶仪（探针式轮廓仪）
资产编号
2019030614
型号
Bruker Nano Inc
规格
DektakXT
产地
马来西亚
厂家
Bruker Nano Inc
所属品牌
Bruker
出产日期
购买日期
2019-08-06
所属单位
电子与信息工程学院（微电子学院）
使用性质
科研
所属分类
XSB24,GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
Kai Wang
联系电话
18927527035
联系邮箱
wangkai23@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
扫描长度范围为55mm;最大样品厚度为50mm；样品X/Y载物台为直径6英寸载物台；台阶高度重现性为4A, 即0.4nm，重复三十次重复测量，1sigma在1um台阶高度
主要功能及特色
台阶仪是利用探针扫描样品表面，仪器记录探针随样品表面高低起伏状态，整合数据得到台阶高度，表面形貌，沟槽深度等特征。微型断差测量仪应用在金属材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料，太阳能，微电子，半导体，MEMS，超高亮度发光二极管，医学等各种材料表面的薄膜厚度，台阶高度，二维粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量。可以得到样品的二维和三维信息。产品符合NIST(USA)标准
样本检测注意事项
无
设备使用相关说明
100/小时
备注
预约
预约资源
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公告
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