单室高真空电阻式镀膜设备
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
武汉普迪PD/400S -
当前状态
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管理员
马雨飞 15914419596 -
放置地点
珠海校区瀚林2号
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
单室高真空电阻式镀膜设备
资产编号
2021030686
型号
武汉普迪PD/400S
规格
1、真空系统：分子泵 FF-200/1200+鲍斯真空BSV-30机械泵真空系统；2、真空测量：数显复合真空计；3、抽气时间：大气压5*10-4Pa小于25min；4、真空极限：优于2.0×10-5Pa；5、漏率：优于5×10－8Pa*L/S国家标准；6、基片台：抽屉式结构，承载最大小于130*130MM样品；7、样品台旋转：0-30转/分连续可调；8、进口膜厚控制仪：监测厚度显示范围 0-99.999 KÅ，显示及控制精度：0.01Å。
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
微电子科学与技术学院
使用性质
教学
所属分类
资产负责人
马雨飞
联系电话
15914419596
联系邮箱
mayf29@mail.sysu.edu.cn
放置地点
珠海校区瀚林2号
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1、真空系统：分子泵 FF-200/1200+鲍斯真空BSV-30机械泵真空系统；2、真空测量：数显复合真空计；3、抽气时间：大气压5*10-4Pa小于25min；4、真空极限：优于2.0×10-5Pa；5、漏率：优于5×10－8Pa*L/S国家标准；6、基片台：抽屉式结构，承载最大小于130*130MM样品；7、样品台旋转：0-30转/分连续可调；8、进口膜厚控制仪：监测厚度显示范围 0-99.999 KÅ，显示及控制精度：0.01Å。
主要功能及特色
无
样本检测注意事项
无
设备使用相关说明
无
备注
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