感应耦合等离子刻蚀机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
北京北方华创微电子装备有限公司 -
当前状态
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管理员
黄奕泰,黄臻成 020-84111012 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
感应耦合等离子刻蚀机
资产编号
2019024062
型号
北京北方华创微电子装备有限公司
规格
刻蚀速率nm/min）：GaN/InGaN/AlGaN:368、Sapphire:73、SiO2:1
产地
中国
厂家
北京北方华创微电子装备有限公司
所属品牌
北方华创 GSE200S
出产日期
购买日期
2019-09-19
所属单位
物理学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
黄臻成
联系电话
020-84111012
联系邮箱
hzhench2@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
侧壁角度:GaN/InGaN/AlGaN=88°,Sapphire=84°,SiO2=89.9°；刻蚀速率(nm/min):GaN/InGaN/AlGaN=368,Sapphire=73,SiO2=166；均一性(5mm去边):GaN/InGaN/AlGaN=1.5%,Sapphire=2.94%,SiO2=1.56%；重复性(3 Wafer重复测试):GaN/InGaN/AlGaN=1.48%,Sapphire=2.44%,SiO2=1.48%。
主要功能及特色
III-V族半导体的制备和加工
样本检测注意事项
暂无
设备使用相关说明
300元/样品
备注
电话或电子邮件进行咨询预约
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公告
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