UHV沉积系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
沈阳科学仪器研制中心有限公司 -
当前状态
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管理员
欧阳红群,包定华,丛杨 020-84113365 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
UHV沉积系统
资产编号
20097341
型号
沈阳科学仪器研制中心有限公司
规格
真空度:<5.0*10”-8Pa
产地
中国
厂家
沈阳科学仪器研制中心有限公司
所属品牌
LMBE450
出产日期
购买日期
2009-10-23
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
XSB24,GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
包定华
联系电话
020-84113365
联系邮箱
stsbdh@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
外延室极限真空度：2.8*10^-8Pa；进样室极限真空度：0.5*10^-5Pa；真空漏率<2.0*10^-8Pa.l/S；靶材最大直径70mm，最多4块；
主要功能及特色
沉积薄膜
样本检测注意事项
构成脉冲激光沉积系统的超高真空室部分，用于制备功能氧化物薄膜包括介电铁电薄膜、电致阻变薄膜等
设备使用相关说明
暂无
备注
无
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