磁控溅射镀膜机系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
上海夯业HSP2-5A -
当前状态
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管理员
黄奕泰,张帮敏 18998437371 -
放置地点
- 仪器信息
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名称
磁控溅射镀膜机系统
资产编号
2022019451
型号
上海夯业HSP2-5A
规格
1个制备室，5个溅射靶，1个射频电源，1台500W直流电源，1台多路开关，1套Loadlock，1套
产地
中国
厂家
上海夯业真空设备科技有限公司
所属品牌
上海夯业HSP2-5A
出产日期
购买日期
2022-06-01
所属单位
物理学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24,XSB24,23FB
资产负责人
张帮敏
联系电话
18998437371
联系邮箱
zhangbm5@mail.sysu.edu.cn
放置地点
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1个制备室，5个溅射靶，1个射频电源，1台500W直流电源，1台多路开关，1套Loadlock，1套
主要功能及特色
1个制备室，5个溅射靶，1个射频电源，1台500W直流电源，1台多路开关，1套Loadlock，1套
样本检测注意事项
1个制备室，5个溅射靶，1个射频电源，1台500W直流电源，1台多路开关，1套Loadlock，1套
设备使用相关说明
无
备注
通过电话或邮箱联系。
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