扫描电子显微镜
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
TESCAN Brno,s.r.o. -
当前状态
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管理员
高锦辉,邢丽丽 15812620754 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
扫描电子显微镜
资产编号
2021005623
型号
TESCAN Brno,s.r.o.
规格
高分辨场发射扫描电子显微镜
产地
捷克
厂家
TESCAN Brno,s.r.o.
所属品牌
MIRA3 XMH
出产日期
购买日期
2021-01-07
所属单位
中法核工程与技术学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24,XSB24,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
邢丽丽
联系电话
15812620754
联系邮箱
xinglili@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
1.二次电子分辨率：1.0nm@30KV，3.5nm@1KV。2.背散射电子分辨率：2.0nm@30KV。3.样品台：五轴马达(X；Y；R；T；Z)全自动控制；行程：X轴不小于130mm; Y轴不小于130mm; Z轴不小于100mm。倾斜：-30~+900。旋转：3600连续。4.电子枪自动合轴，手动、自动聚焦。5.图像采集:大像素不小于16384×16384.6.放大倍率：x1~1,000,000。7.加速电压：200V-30kV。8.真空系统由离子泵、分子泵、无油干泵三级泵系统组成。9.二次电子探测器：样品室内YAG二次电子探测器和镜筒内YAG二次电子探测器各一个；样品室内可伸缩式YAG背散射电子探测器。10.具备束流探测装置。11.高分辨EBSD相机：像素分辨率: 640 (H)×480 (V)；扫描和指标化速度:1500点/秒；六方步进扫描；取向测量精度：优于0.1度；自动优化EBSD相机设置；自动背底采集与处理；三条带组指标化算法与置信度因子获得准确的EBSD解；动态面扫描。12.EBSD数据库系统：由电子衍射得到的EBSD专用数据库：>500个相结构；树状结构管理并配备相应分析软件。
主要功能及特色
高分辨扫描电子显微镜主要用于固体样品形貌及成分测量。配备了二次电子探测器主要用于样品形貌测量；背散射电子探测器主要用于样品形貌和相鉴别。而仪器配备的EBSD探头可用于样品晶粒取向、织构等检测分析；后期配备的能谱探头可用于样品元素的定性和半定量分析。
样本检测注意事项
高分辨扫描电子显微镜主要用于固体样品形貌及成分测量。配备了二次电子探测器主要用于样品形貌测量；背散射电子探测器主要用于样品形貌和相鉴别。而仪器配备的EBSD探头可用于样品晶粒取向、织构等检测分析；后期配备的能谱探头可用于样品元素的定性和半定量分析。
设备使用相关说明
校内200元/小时；校外400元/小时
备注
仪器设备承担学院《核材料与力学实验前沿》等课程的教学任务，另外面向各课题组提供各类科研服务，如样品形貌及成分的分析与检测等
预约资源
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公告
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