紫外光刻机
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
ABM/8/500/NUV/DCCD/BSV/SA -
当前状态
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管理员
王旭,何坚 -
放置地点
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名称
紫外光刻机
资产编号
2023064169
型号
ABM/8/500/NUV/DCCD/BSV/SA
规格
500W近紫外光源及控制器、对准机构、显微镜及对准系统、对准系统、卡盘、掩膜版夹具、无油真空泵、光刻
产地
美国
厂家
ABM
所属品牌
ABM/8/500/NUV/DCCD/BSV/SA
出产日期
购买日期
2023-10-27
所属单位
材料学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24
资产负责人
何坚
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