形状测量激光显微系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
基恩士公司 -
当前状态
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管理员
欧阳红群,雷宏香,丛杨 18026402392 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
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名称
形状测量激光显微系统
资产编号
2012G009
型号
基恩士公司
规格
高度显示测量分辨率:0.5nm
产地
日本
厂家
基恩士公司
所属品牌
KEYENCE VK-X200K
出产日期
购买日期
2012-11-09
所属单位
材料科学与工程学院
使用性质
科研
所属分类
XSB24,GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB
资产负责人
雷宏香
联系电话
18026402392
联系邮箱
leihx@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
物镜倍数：10X、20X、50X、150X；光学变焦：1~6倍；操作距离（mm）：16.5、3.1、0.35、0.2；数值孔径：0.3、0.46、0.95、0.95；高度测量：显示分辨能力：0.001um,重复精度：0.014um；宽度测量：显示分辨能力：0.001um,重复精度:0.02um；测定用激光：波长：408 nm,最大输出功率：0.9mw
主要功能及特色
通过逐行扫描以及针孔共轭聚焦方式寻找出物体表面各点的焦距，各点焦距差即得到物体的形貌高度数据；将激光扫描出来的物体表面形貌图像和彩色CCD拍摄的图像合成一体，从而得到的真实彩色超景深3D图像；利用408 nm激光把物体的微观细节扫描出来，从而可以得到比一般光学显微镜更清晰的图像和可以得到更高的分辨率；该显微镜可以在X-Y-Z实现10到20纳米的重复测量精度，显示分辨率可达1 nm。通过1—6倍的光学变焦，最大可以放大到18000倍（屏幕放大）。
样本检测注意事项
形貌观察与尺寸测量
设备使用相关说明
暂无
备注
无
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