双室四靶材磁控溅射镀膜系统
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
北京金盛微纳科技有限公司 -
当前状态
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管理员
王旭,黄丰 13927435634 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
双室四靶材磁控溅射镀膜系统
资产编号
2019000367
型号
北京金盛微纳科技有限公司
规格
极限真空 ≤2.0*1/100000Pa 5.0*1/1000Pa
产地
中国
厂家
北京金盛微纳科技有限公司
所属品牌
MSP-3220
出产日期
购买日期
2018-09-11
所属单位
材料学院
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24,GZYQ,GZYQ22,22FB,CHONGFA
资产负责人
黄丰
联系电话
13927435634
联系邮箱
zhengw37@mail.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
MSP-3220
主要功能及特色
用于在真空条件下生长金属氧化物和氮化物等新一代半导体材料薄膜
样本检测注意事项
无
设备使用相关说明
暂无
备注
无
预约资源
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