电子束蒸发设备
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
ULVAC KIKO，Inc. -
当前状态
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管理员
陈栩江,吴志盛 13763312526 -
放置地点
南校区中山大学
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
电子束蒸发设备
资产编号
2020007493
型号
ULVAC KIKO，Inc.
规格
极限真空1.3*10-4Pa，1E-3Pa(10min内），坩埚容量3CC
产地
日本
厂家
ULVAC KIKO，Inc.
所属品牌
ULVAC，VPC-1100
出产日期
购买日期
2020-05-15
所属单位
电子与信息工程学院（微电子学院）
使用性质
科研
所属分类
GZYQ24,XSB24,GZYQ,GZYQ22,22FB
资产负责人
吴志盛
联系电话
13763312526
联系邮箱
yjingj@mail3.sysu.edu.cn
放置地点
南校区中山大学
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 样本检测注意事项
- 设备使用相关说明
- 备注
主要规格&技术指标
极限真空9.4×10-5；抽真空时间9.6E-4Pa(10min),3E-4Pa(25min)
主要功能及特色
金属电极蒸镀 Al、Ni、Pt、Au等
样本检测注意事项
金属电极蒸镀 Al、Ni、Pt、Au等
设备使用相关说明
200元/小时，Pt：450元/克，Pd：120元/克，Cr：60元/克，Au：330元/克，Ag：20元/克，Ni：15元/克，Ti：15元/克
备注
按照共享平台规定
预约资源
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公告
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